貼合式兆聲清洗頭的特點

兆聲波清洗不僅保存了超聲波清洗的優點，而且克服了它的不足。在清洗時，由換能器發出波長為1μm頻率為0.8兆赫的高能聲波。溶液分子在這種聲波的推動下作加速運動，大瞬時速度可達到30cm/s。因此，形成不了超聲波清洗那樣的氣泡,而只能以高速的流體波連續沖擊晶片表面,使硅片表面附著的污染物的細小微粒被強制除去并進入到清洗液中。兆聲波清洗拋光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子,起到超聲波起不到的作用。這種方法能同時起到機械擦片和化學清洗兩種方法的作用。兆聲波清洗方法已成為拋光片清洗的一種有效方法。

超聲波清洗

清洗介質：采用超聲波清洗，一般有兩類清洗劑即化學溶劑和水基清洗劑。清洗介質的化學作用可以加速超聲波清洗效果，超聲波清洗是物理作用，兩種作用相結合，依對物件進行充分、的清洗。功率密度：超聲波的功率密度越高，空化效果越強，速度越快，清洗效果越好，但對于精密的表面光潔度甚高的物件，采用長時間的高功率密度清洗會對物件表面產生空化、腐蝕。超聲頻率：適用于工件粗、臟、初洗，頻率高則超聲波方向性強，適合于精細的物件清洗。清洗高溫：一般來說，超聲波在30℃~40℃時的空化效果，清洗劑也不是溫度越高，作用越顯著，有可能會高溫失效，通常超聲波在超過85°C時，清洗效果已變差。所以實際應用超聲波清洗時，采用50°C~70°C的工作溫度。

超聲波清洗新發展

隨著應用范圍的擴大,超聲波清洗技術也有了新的發展。傳統的超聲波清洗設備由于自動化程度不高而難以保證零件清洗的均勻性,近年來逐漸出現了自動化程度高、靈活性強的自動化超聲波清洗設備。不但實現了超聲波清洗的自動化控制和批量作業,還穩定了清洗工藝、提高了清洗質量。這類超聲波清洗設備將超聲波清洗和化學清洗、漂洗、脫水、烘干等工藝結合,因而有非常高的清洗效率。在傳動、烘干、清洗方面通常使用PLC控制,實現了清洗過程的全自動化。