高純氣體管道配管

所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設(shè)備用點(diǎn)(POU)，為了達(dá)到工藝對氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標(biāo)一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則，并在圖紙中注明管道材質(zhì)。實(shí)驗(yàn)室氣體管道安裝【實(shí)驗(yàn)室氣體管路要求】1、所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管組成。

管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇，若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級的316L EP管，經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠(yuǎn)低于經(jīng)過光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體，如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。4、壓縮空氣在管路上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯(lián)一路，用單獨(dú)的閥門隔離，以方便對過濾裝置進(jìn)行維修。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。

實(shí)驗(yàn)室氣體工程安裝注意事項(xiàng)

（1） 管徑為1/8的管路很細(xì)且特軟，安裝后不直，很不美觀，建議管徑為1/8的全部換成1/4，在二級減壓器末端加一變徑就可以了。

（2） 氮?dú)猓珹r，壓縮空氣，氦氣，甲i烷，氧氣的已經(jīng)減壓器壓力表量程為0—25Mpa，二級減壓器為0—1.6 Mpa。乙i炔一級減壓器量程為0—4 Mpa，二級減壓器為0—0.25 Mpa。

（3） 氮?dú)猓珹r，壓縮空氣，氦氣，氧氣鋼瓶接頭共用氫氣鋼瓶接頭分兩種，一是正轉(zhuǎn)鋼瓶接頭，另一是反轉(zhuǎn)。大氣瓶用的是反轉(zhuǎn)，小氣瓶用的是正轉(zhuǎn)。

（4） 氣體管路每隔1.5m設(shè)一管子固定件彎曲處及閥門兩端都應(yīng)設(shè)固定件。

（5） 氣體管路應(yīng)沿墻明設(shè)，以便安裝維護(hù)。

氣路系統(tǒng)百科知識

一、氣瓶間。

1、鋼瓶間的設(shè)計(jì)宜設(shè)在中心化驗(yàn)室的主入口側(cè)，并應(yīng)采取遮陽防曬措施，當(dāng)鋼瓶間與建筑物為一體時(shí)，隔墻應(yīng)為鋼筋混凝土防爆墻。

2、通風(fēng)良好，并具有足夠的泄爆面積，室內(nèi)地面應(yīng)有防火花，防靜電措施;

3、可燃?xì)怏w鋼瓶(H2，C2H2)與助燃?xì)怏w鋼瓶(O2)應(yīng)隔開布置;

4、還應(yīng)設(shè)立泄露報(bào)警系統(tǒng)。

二、色譜室。

1、中心化驗(yàn)室的管道應(yīng)統(tǒng)籌規(guī)劃、集中布置，以便于安裝、操作和檢修為布置原則;

2、引入中心化驗(yàn)室的工藝管道總管應(yīng)設(shè)切斷閥，并根據(jù)需要設(shè)置壓力表、溫度計(jì)、流量計(jì)、過濾器和減壓閥等。閥門或儀表宜設(shè)置在便于觀察和檢修的位置;

3、可燃易i爆氣體如氫氣、乙i炔、氧氣等宜明線鋪設(shè);

4、管道宜集中布置并沿墻明設(shè)，且方便安裝及檢修;

5、使用鋼瓶氣管道的設(shè)備臺應(yīng)離墻布置，留出的維修空間不宜小于600mm;

6、氫氣管道宜采用焊接連接，不應(yīng)采用螺紋連接和使用閘閥。

實(shí)驗(yàn)室氣體管道工程

實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)氣體管路

氣體管路指氣瓶至儀器終端之間連接管線，一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門-管線-過濾器-報(bào)警器-終端箱-調(diào)節(jié)閥等部分組成，輸送氣體為實(shí)驗(yàn)室儀器(色譜、原子吸收等)用氣、高純氣體。

使用的氣瓶和備用氣瓶之間有一個(gè)半自動調(diào)節(jié)閥來控制。所有氣體管路都是高質(zhì)量的、完全退火、無縫不銹鋼SS-316L。所有氧氣管路都需完全清理干凈，使其適合氧氣使用。氣體管路需要有安全壓力釋放閥門、壓力調(diào)節(jié)閥門、壓力表來指示氣體壓力。

實(shí)驗(yàn)供氣系統(tǒng)易i燃易i爆氣體使用安全注意事項(xiàng)

1.易i燃易i爆氣體：此類氣體只要形成了可燃?xì)怏w爆i炸混合氣和達(dá)到著火溫度。便會發(fā)生燃燒爆i炸事故因此在可燃?xì)怏w入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室

內(nèi)使用可燃?xì)怏w處、敷設(shè)可燃?xì)怏w的管廊或技術(shù)夾層以及可能聚集可燃?xì)怏w的場所均應(yīng)設(shè)置可燃?xì)怏w報(bào)警裝置。具體要求如下：

①可燃?xì)怏w比空氣輕者，報(bào)警裝置設(shè)置在所處場所的頂部。

②可燃?xì)怏w比空氣重者，報(bào)警裝置設(shè)置在所處場所的較低處。

③可燃?xì)怏w的報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置設(shè)電氣連鎖，當(dāng)空氣中的可燃?xì)怏w濃度達(dá)到規(guī)定值時(shí)，事故排風(fēng)裝置自動開啟，同時(shí)向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報(bào)警信號。

④為防止倒流回火應(yīng)在用氣設(shè)備的支管上設(shè)置阻火器，在排入大氣的排氣管道上，為防止排氣時(shí)突遇雷電襲i擊阻止火焰蔓延至可燃?xì)怏w管道引發(fā)燃燒爆i炸事故，必須在排氣管道上設(shè)置阻火器。

⑤可燃?xì)怏w在適當(dāng)?shù)墓艿捞帒?yīng)做接地，但接地電阻應(yīng)符合相關(guān)規(guī)定。

⑥各種可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)均應(yīng)設(shè)置能引入氮?dú)獾榷栊詺怏w的接口及相應(yīng)的檢測口，以便在可燃?xì)怏w供應(yīng)系統(tǒng)使用前后或檢修動火前后對其系統(tǒng)進(jìn)行吹掃置換，但是惰性氣體吹掃接口在正常運(yùn)行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通，以避免影響氣體質(zhì)量。