能源審計主要包括策劃與組織、現場診斷、現狀及節能分析、報告編寫及定稿四個流程。1、策劃與組織：策劃與組織是開展能源審計工作的關鍵階段，通過溝通、培訓使企業負責人、設備管理人員及員工對能源審計及能源管理工作形成初步認識，消除思想上和觀念上的障礙；(2)企業單位產品能耗(含輔助生產體系、辦公、機修、化驗、研發等分攤)。了解用能單位能源審計的工作內容、要求以及工作程序。取得高層的支持和參與，組建能源審計小組，制訂能源審計工作計劃。

編制審計報告：根據調閱的企業能源消耗數據、能源管理現狀、能源審汁現場診斷及數據分析結果，分析用能單位的用能薄弱環節，分析節能潛力，并在技術經濟可行性分析的基礎上提出系統的節能改造方案經過與用能單位協商、討論，終完成報告，報告中應該包括改善能源管理的措施，運行維護的建議，低成本無成本節能項目、重大項目的改善方案，以及各能源績效參數的計算結果及分析。（4）關鍵員工座談采用現場溝通的方式與設備管理人員就設備管理及經濟性運行問題進行交流．了解企業能源管理工作現狀及具體執行情況，必要時采用座談會的形式開展。

反復迭代原理：能源審計的過程，是一個反復迭代的過程，即在能源審計的過程中要反復的使用上述分層嵌入原理。分層嵌入原理這一方法適用于現場考察，也適用于產生節能方案階段，有的階段應進行三個層次、八個方面的完整迭代，有的階段不一定是完整迭代。

窮盡枚舉原理：窮盡枚舉原理的重點，一是窮盡、二是枚舉。所謂窮盡，是指八個方面（能源、轉換設備、輸出設備、過程控制、管理、員工、輸送管網、廢棄能）構成了用能單位節能方案的充分必要集合。換言之，從這八個方面入手，一定能發現自身的節能方案；全方面審計：對用能系統進行深入全方面的分析與評價，就要進行詳細的能源審計。任何一個節能方案，必然是循著這八個方面中的一個方面和幾個方面找到的。因此，從這八個方面入手可以識別用能單位所有的節能方案。所謂枚舉，即是不連續的、一個一個地列舉出來。因此，窮盡枚舉原理意味著在每一個階段、每一個步驟的每一個層次的迭代中，要將八個方面作為這一步驟的切入點。因此，深化和做好該步驟的工作，切不可合并，也不可跳躍。