促進(jìn)劑的作用是調(diào)整顯影液中氫離子的濃度，從而控制顯影劑的電離濃度。顯影過程中，溶液中釋放出的氫離子，如果不加以控制，那么會使溶液中氫離子濃度繼續(xù)增大，使得PH值明顯降低，顯影劑的電離速度就會明顯減慢，從而嚴(yán)重影響了顯影速度。堿的促進(jìn)作用就在于它與氫離子不斷中和而生成水，從而使顯影液中的顯影離子保持穩(wěn)定的濃度，使顯影進(jìn)行得正常。感光測定是研究曝光量與其在感光材料所產(chǎn)生的黑化程度之間的關(guān)系。

顯影適用性

A、走版均勻，波動小：

B。審液少（顯影液/水洗、水洗/保護(hù)膠、保護(hù)膠/烘干段） ；

C、版材正反面不易產(chǎn)生劃傷（導(dǎo)軌弧度及材質(zhì)問題） ；

D、是否在版面留下臟物（輥?zhàn)哟笮〖坝捕龋?；

E、顯影的均勻性；

F、保護(hù)膠均勻性；

G、顯影不同厚度的版子，是否在顯影上存在區(qū)別；

H、是否易卡版；

1、循環(huán)水的再利用系統(tǒng)

測試步驟

用初始Recipe生產(chǎn)測試版，并量測CD做數(shù)據(jù)分析。根據(jù)數(shù)據(jù)分析結(jié)果中Radio誤差數(shù)據(jù)，調(diào)整顯影工藝段Recipe，通過顯影補(bǔ)償手段使得Radio誤差數(shù)據(jù)優(yōu)。通過調(diào)整曝光機(jī)Bias，顯影時間和蝕刻時間等參數(shù)使得CD Mean指標(biāo)達(dá)標(biāo)。使用優(yōu)化后的Recipe生產(chǎn)測試版，重復(fù)CD Uniformity測試，檢驗(yàn)現(xiàn)有工藝條件下該指標(biāo)的性能。工藝原理雙色氧化是利用多種工藝手段在鋁件上陽極氧化并形成兩種顏色的過程。