氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學(xué)性質(zhì)及危險性，在應(yīng)用中較少使用，所以實際大部分檢漏使用的都是氦氣。氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng)，快速有效地清除超標的氦本底，保證檢測的穩(wěn)定性和準確性；實時監(jiān)測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；

檢漏技術(shù)在真空領(lǐng)域占有非常重要的地位，它關(guān)系到真空設(shè)備的各項真空指標，如何快速地找到漏點關(guān)系到企業(yè)的生產(chǎn)效率與經(jīng)營成本。氦質(zhì)譜檢漏儀是第二次期間快速發(fā)展起來的一種高精度檢漏儀，其靈.敏度高達10-15pa:m3/s。當今常見的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度在10-9 ~10-13pa.m3/s。氦質(zhì)譜檢測技術(shù)以其靈敏度高、速度快、使用安全、適用范圍廣以及可以量化漏點的漏率等特點，在航空、航天、汽車和電力行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用，與其他諸多傳統(tǒng)檢漏方法相比，氦質(zhì)譜檢漏具有的技術(shù)優(yōu)越性。采用氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)，可以實現(xiàn)飛機機翼整體油箱滲漏點的快速定位檢測與修補，保證機翼 翼盒的高質(zhì)量、率裝配。

檢漏儀調(diào)成真空模式，對檢漏儀和機組進行連接，開啟檢漏儀，當真空度達到檢漏儀開檢壓力后，對機組可能的泄漏點吹噴氦氣，當氦氣泄漏量達到檢漏儀設(shè)定的報警值時，檢漏儀報警。吹噴氦氣時應(yīng)當注意以下幾點:從機組的下方到上方，靠近檢漏儀處到遠離檢漏儀處逐步噴吹。檢出大漏后要經(jīng)過修補再檢小漏。當存在兩個鄰近的漏孔時，蓋住其中- -個漏孔再檢測另一個。當噴吹某點時，檢漏儀顯示值有變化但較為緩慢，表明鄰近的其他地方有較大泄漏。檢漏場地應(yīng)有良好通風(fēng)，但不影響噴出氦氣的氣體流向。總結(jié):氦質(zhì)譜檢漏儀在化鋰吸收式制冷行業(yè)廣泛應(yīng)用以后，使制冷機的壽命有著明顯提高，保證了化鋰制冷機15年以上的使用壽命